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硅晶区域检测是衡量MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems，微机电系统）光谱芯片质量的重要评价指标之一，硅晶区域半径是MEMS光谱芯片检验环节中重要的评估参数。 传统技术中，对于硅晶区域半径的检测方法主要是通过图像采集器在红外光源下获取图片，然后人工观察硅晶区域，评价其质量。以这种方式进行检测不但效率低下，同时也存在人为检测标准不一致，视觉疲劳等现象，造成出厂产品质量的波动。